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洁净室必须保持正压,即按洁净度等级的高低依次相连,并有相应的压差,以防止低级洁净室的空气逆流至高级洁净室中。除有特殊要求外,洁净室的温度控制在18~26°C、相对湿度控制在45%~65%。
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