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电子光学系统的像差有:
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A.
几何像差:非傍轴关系:畸变、场曲、像散、彗差、球差
B.
非轴对称像差:调整误差
C.
色差:速度不等
D.
空间电荷像差:斥力
E.
相对论效应像差:>25kV电压同比定律破坏
F.
衍射像差:像“元素”、孔径与电子波长相比拟
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